原子层沉积（Atomic Layer Deposition）
xueshu
龙猫
原子层沉积是一种精确控制薄膜生长的技术，通过气态前驱体交替脉冲反应，每次沉积单原子层，能实现高精度的薄膜厚度、成分和结构控制，广泛用...